反応性スパッタ法とはなんですか？

A. 反応性スパッタ法とは、反応性イオンエッチング法とも呼ばれ、イオン化した材料をターゲットに衝突させて、材料をスパッタリングする技術です。

参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E6%80%A7%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF%E6%B3%95