MEMSとはなんですか？

ページ名：MEMSとはなんですか？

A. メムスとは、マイクロエレクトロニクス技術を用いて、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に集積化したデバイスのことです。