ツーフローMOCVDとはなんですか?

ページ名:ツーフローMOCVDとはなんですか?

A. ツーフローMOCVDとは、MOCVD装置のリアクタに、縦方向からと横方向からという2つの流れによって成長基板に原料をあてる技術です。

参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%84%E3%83%BC%E3%83%95%E3%83%AD%E3%83%BCMOCVD


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