化学気相成長とはなんですか?

ページ名:化学気相成長とはなんですか?

A. 化学気相成長とは、石英管内で加熱した基板物質上に、目的とする薄膜の成分を含む原料ガスを供給し、基板表面あるいは気相での化学反応により膜を堆積する方法です。

参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E6%88%90%E9%95%B7


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