チャージアップとはなんですか？

A. チャージアップとは、SEMあるいはESCAなどで絶縁体試料を測定している際、サンプルが帯電し適切な結果が得られなくなる現象のことです。

参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%81%E3%83%A3%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%82%A2%E3%83%83%E3%83%97