クライオポンプとはなんですか?

ページ名:クライオポンプとはなんですか?

A. クライオポンプは、冷凍機を利用して吸気温度を低温に保つことで、吸気を液体窒素ガスで冷却し、吸気と液体窒素ガスとの圧力差を利用して吸気を圧縮する真空ポンプです。

参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%AF%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%AA%E3%83%9D%E3%83%B3%E3%83%97


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