ソープションポンプとはなんですか?

ページ名:ソープションポンプとはなんですか?

A. ソープションポンプは、液体窒素で冷却した多孔質の吸着剤を使用して、気体分子を物理吸着させて排気する真空ポンプの一種です。

参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%BD%E3%83%BC%E3%83%97%E3%82%B7%E3%83%A7%E3%83%B3%E3%83%9D%E3%83%B3%E3%83%97


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