拡散ポンプとはなんですか？

A. 拡散ポンプは、半導体製造・加工装置などの真空チャンバーで主に用いられる真空ポンプです。

参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%8B%A1%E6%95%A3%E3%83%9D%E3%83%B3%E3%83%97