A. 化学機械研磨は、化学成分や研磨剤の作用を利用して、高速かつ平滑な研磨面を得る技術です。
参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%A9%9F%E6%A2%B0%E7%A0%94%E7%A3%A8
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