深掘りRIEとはなんですか?

ページ名:深掘りRIEとはなんですか?

A. 深掘りRIEとは、反応性イオンエッチング (RIE) の一つで、アスペクト比の高い(狭く深い)反応性イオンエッチングを指します。

参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%B7%B1%E6%8E%98%E3%82%8ARIE


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