深掘りRIEとはなんですか？

A. 深掘りRIEとは、反応性イオンエッチング (RIE) の一つで、アスペクト比の高い（狭く深い）反応性イオンエッチングを指します。

参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%B7%B1%E6%8E%98%E3%82%8ARIE