反応性イオンエッチングとはなんですか？ - クイズwiki

A. 反応性イオンエッチングは、イオンエッチング技術の一種で、反応性イオンエッチング（Reactive Ion Etching; RIE）とも呼ばれます。これは、反応性イオンエッチングプロセスを使用して、基板表面から不要な材料を除去する技術です。このプロセスでは、反応性イオンエッ

更新日：2024-03-25 10:48:31