反応性イオンエッチングとはなんですか？ - クイズwiki

プロセスでは、反応性イオンエッチングチャンバー内で、イオン化されたガスが基板表面と反応し、不要な材料を除去します。反応性イオンエッチングは、ドライエッチング技術の一つであり、基板表面のダメージを最小限に抑えることができるため、高精度かつ微細なパターン形成に適しています。参考URL

更新日：2024-03-25 10:48:31