「ドライエッチング」を含むwiki一覧 - 1ページ

窒化ガリウム - なんでもある Wiki

は溶解する。半導体の製造工程におけるエッチングの際には反応性イオンエッチング (reactive ion etching, RIE) によるドライエッチングを行う。歴史[編集]1980年代前半はセレン化亜鉛 (ZnSe) と GaN が青色系発光ダイオードの材料の候補であった。し

ドライエッチングとはなんですか? - クイズwiki

A. 材料をエッチングする方法で、反応性の気体やイオン、ラジカルによって材料をエッチングします。参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E

反応性イオンエッチングとはなんですか? - クイズwiki

プロセスでは、反応性イオンエッチングチャンバー内で、イオン化されたガスが基板表面と反応し、不要な材料を除去します。反応性イオンエッチングは、ドライエッチング技術の一つであり、基板表面のダメージを最小限に抑えることができるため、高精度かつ微細なパターン形成に適しています。参考URL

  • 1