反応性スパッタ法とはなんですか？ - クイズwiki

A. 反応性スパッタ法とは、反応性イオンエッチング法とも呼ばれ、イオン化した材料をターゲットに衝突させて、材料をスパッタリングする技術です。参考URL:https://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E6%80%A7%E3%82%

更新日：2024-03-29 20:16:31